[实用新型]药液和超临界流体的混合装置有效
| 申请号： | 201820545197.0 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN208465784U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 申寅澈;姜炳州;金大珉;金东旻 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F11/02 | 分类号： | B01F11/02;B01F13/08;B01F7/22 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型的目的在于提供一种药液和超临界流体的混合装置，其防止混合装置的腔室内部的污染的同时，迅速且顺畅地实现药液和超临界流体之间的混合，从而可缩短基板清洗时间。用于实现所述目的的本实用新型的药液和超临界流体的混合装置是用于混合药液和超临界流体的混合装置，药液和超临界流体用于清洗基板，药液和超临界流体的混合装置包括：腔室，其获得所述药液和超临界流体的供给，并实现药液和超临界流体的混合；以及振动产生部，其设置于所述腔室的外部，通过在所述腔室内部的药液和超临界流体中引起振动而实现混合。 | ||
| 搜索关键词： | 超临界流体 混合装置 本实用新型 腔室内部 腔室 振动产生部 防止混合 混合药液 基板清洗 清洗基板 引起振动 外部 污染 | ||
【主权项】：
1.一种药液和超临界流体的混合装置，其是用于混合药液和超临界流体的混合装置，药液和超临界流体用于清洗基板，其特征在于，药液和超临界流体的混合装置包括：腔室，其获得所述药液和超临界流体的供给，并实现药液和超临界流体的混合；以及振动产生部，其设置于所述腔室的外部，通过在所述腔室内部的药液和超临界流体中引起振动而实现混合。
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