[实用新型]一种微电子器件的除尘装置有效
| 申请号： | 201820555861.X | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN211965214U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 南方 | 申请（专利权）人： | 西安知点信息科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司 61221 | 代理人： | 赵双 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八五路1*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微电子器件的除尘装置，包括支撑件和固定架，固定架的底端与支撑件连接，支撑件上设有导风腔，导风腔两侧对称分布有回风腔，导风腔内嵌设有导风腔管，导风腔管顶端与离子风机连接，导风腔管底端低于支撑件的底面；回风腔内均嵌设有回风腔管，回风腔管顶端与吸尘机连接，回风腔管底端与支撑件的底面平齐离子风机和吸尘机固定在支撑架或固定架上，吸尘机位于离子风机的任一侧；本实用新型结合微电子器件生产实际，在导风腔管两侧均设有回风腔管，并且导风腔管的底端低于回风腔管，即导风腔管更接近微电子工件表面，清洁效果好由于吸尘腔管附近的气压低于工件附近的气压，气流快速向上卷升，被吸尘机吸走，不会扩散至生产车间中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 器件 除尘 装置 | ||
【主权项】：
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