[实用新型]一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备

摘要

本实用新型涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；本实用新型采用同批次4花篮同时运行，匹配两套的机械手臂，配合旋干机，将常规湿制程设备产能提升40％以上，极大程度上提高了产能，进而每片晶圆的工艺成本有效地降低，同时不过多占用无尘室空间和人力资源。

主权项

1.一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，包括防腐骨架及外壳(1)、机械臂安装调整机构(2)、全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)、上货机构(7)、双工位下货机构(8)、带移载机构制程槽(9)、水平式旋干机(11)、操作界面(12)、电控系统(14)及管路系统(15)，其特征在于：所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；所述机械臂安装调整机构(2)包括导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)及固定支架(24)，所述导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)固定安装在固定支架(24)上；所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)包括机械臂动力本体(31)、夹爪动力本体(32)、双短夹爪(33)、双长夹爪(34)、机械臂(37)及支撑轴(39)，所述机械臂动力本体(31)内部设有伺服电机、左右运行动力机构及上下运行动力机构，其上端面设有侦测机构(38)，所述机械臂动力本体(31)通过滑块(35)滑动连接导轨(21)，所述左右运行动力机构通过传动齿轮(36)啮合连接齿条(22)，所述上下运行动力机构通过支撑轴(39)固定连接夹爪动力本体(32)，所述夹爪动力本体(32)内设有电机、导向机构，所述机械臂(37)配合连接电机、导向机构，所述机械臂(37)前端设有双短夹爪(33)、双长夹爪(34)；所述上货机构(7)包括双高花篮定位座(71)、双低花篮定位座(72)；所述带移载机构制程槽(9)包括制程槽体(91)、出液排放机构(95)及进液机构(96)，所述出液排放机构(95)及进液机构(96)密封连接制程槽体(91)，所述制程槽体(91)内部设有移动承载座(93)、固定承载座(94)，所述移动承载座(93)位于固定承载座(94)的前上方，所述移动承载座(93)配合连接移动承载动力机构(92)，所述移动承载动力机构(92)安装在制程槽(9)上；所述水平式旋干机(11)包括密封盖(1101)、旋干机体(1102)，所述密封盖(1101)密封连接旋干机体(1102)上端面，所述旋干机体(1102)内设有花篮固定旋转承载平台(1103)，所述花篮固定旋转承载平台(1103)上设有四个均匀分布的花篮固定承载座(1104)。