[实用新型]一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置有效
| 申请号： | 201820562554.4 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208320207U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 姚声永;林蕾蕾;李德强 | 申请（专利权）人： | 合肥硕朗自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/26;B01D53/02;C01B23/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，涉及氦气检漏、回收技术领域。包括回收控制阀门、过滤装置和净化装置。本实用新型通过回收控制阀门连接着真空箱检漏系统的高压气体罐的排气口，回收控制阀门通过设置时间周期对高压气体罐回收氦气，所回收的氦气分别在滤油装置和滤水装置中过滤去除掉油、水等杂质成分，再经过程序控制阀门A～F，分别在氦气净化装置和中经过吸附作用获得洁净的氦气；氦气净化装置A和B所用的吸附介质为多种材料组成的混合吸附材料，获得的洁净氦气经过流量计计量后补充入真空箱检漏系统的低压气罐中，经压缩机增压充入高压气罐便可以循环使用。 | ||
| 搜索关键词： | 氦气 净化装置 检漏系统 真空箱 回收 控制阀门 本实用新型 高压气体罐 氦气回收 流量计 洁净 程序控制 低压气罐 高压气罐 过滤装置 氦气检漏 滤水装置 滤油装置 时间周期 吸附材料 吸附介质 吸附作用 排气口 增压 压缩机 除掉 阀门 过滤 计量 补充 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于：包括回收控制阀门(1)、过滤装置(2)和净化装置(3)；所述回收控制阀门(1)与真空箱检漏系统的高压气体罐(6)的第一排气口固定连接；所述回收控制阀门(1)与过滤装置(2)的滤油装置(201)的入口固定连接；所述过滤装置(2)包括滤油装置(201)和滤水装置(202)；所述滤油装置(201)的出口与滤水装置(202)的入口固定连接；所述滤水装置(202)的出口分别与净化装置(3)的氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)的入口固定连接；所述滤水装置(202)的出口处固定安装有程序控制阀门E(505)；所述净化装置(3)包括氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)；所述氦气净化装置A(301)的入口处固定安装有程序控制阀门A(501)；所述氦气净化装置B(302)的入口处固定安装有程序控制阀门B(502)；所述氦气净化装置A(301)的出口处固定安装有程序控制阀门C(503)；所述氦气净化装置B(302)的出口处固定安装有程序控制阀门D(504)；所述氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)的出口都与低压气体罐(4)的第一入口固定连接；所述低压气体罐(4)的第一入口处固定安装有质量流量计MFC(7)和程序控制阀门F(506)；所述低压气体罐(4)的出口与压缩机(5)的入口固定连接；所述压缩机(5)的出口与高压气体罐(6)的进气口固定连接；所述高压气体罐(6)的第二排气口与待检工件装置(8)固定连接；所述待检工件装置(8)与低压气体罐(4)的第二入口固定连接。
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