[实用新型]一种夹持式半导体机械手末端执行器有效
| 申请号： | 201820563623.3 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208179574U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李晓东 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/02 | 分类号： | B25J15/02;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孙进华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种夹持式半导体机械手末端执行器，所述末端执行器包括手指部分、固定架部分和底板部分。其采用了机械手夹持晶圆边缘的方式抓取晶圆，从而解决了现有在某些情况下无法用传统真空吸附机械手搬运上下表面不允许接触的晶圆的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手末端 夹持式 晶圆 半导体 底板 抓取 本实用新型 机械手搬运 末端执行器 传统真空 机械手夹 晶圆边缘 上下表面 固定架 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述末端执行器包括手指部分、固定架部分和底板部分，所述手指部分包括V形手指，V形手指两个分叉前端分别都具有前夹持块和前晶圆支撑块；V形手指后部中央具有后晶圆支撑块；V形手指后端与底板连接，所述固定架部分包括Y形固定架，Y形固定架两个分叉前端分别具有后夹持块，后夹持块位于后晶圆支撑块两侧且在手指部分轴向方向上位于后晶圆支撑块与前晶圆支撑块之间；Y形固定架后端与气缸连接，所述底板部分包括底板和底板上安装的气缸。
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