[实用新型]原子层沉积炉管设备

摘要

本实用新型提供一种原子层沉积炉管设备，该设备包括炉管外体、排气管组、真空泵一及真空泵二，其中排气管组设置在炉管外体相对于排气口的另一面，排气管组包含主排气管一、主排气管二、支排气管一、支排气管二、支排气管三和支排气管四；支排气管一相对于主排气管一的另一端与真空泵一相连通，真空泵一另一端通过所述支排气管三与主排气管二连通；支排气管二相对于主排气管一的另一端与真空泵二相连通，真空泵二另一端通过支排气管四与主排气管二连通。本实用新型通过改进炉管设备中真空泵系统，由单泵系统改进为双泵系统，大幅减少了两种特气相互接触的可能性，可以提高真空泵寿命达到两倍或两倍以上。

主权项

1.一种原子层沉积炉管设备，其特征在于，包括：炉管外体，所述炉管外体一侧设有两个进气口，分别为第一进气口和第二进气口，用于通入不同特气，在所述第一进气口和所述第二进气口相对于所述炉管外体的另一侧面设置有排气口；排气管组，设置在所述炉管外体相对于所述排气口的另一面，所述排气管组包含主排气管一、主排气管二、支排气管一、支排气管二、支排气管三和支排气管四；真空泵一，所述支排气管一相对于所述主排气管一的另一端与所述真空泵一相连通，所述真空泵一另一端通过所述支排气管三与所述主排气管二连通；真空泵二，所述支排气管二相对于所述主排气管一的另一端与所述真空泵二相连通，所述真空泵二另一端通过所述支排气管四与所述主排气管二连通。