[实用新型]一种可测量硅芯直径的硅芯炉

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产领域，公开了一种可测量硅芯直径的硅芯炉。硅芯炉包括形成空腔的炉体、直径测量系统以及显示装置。炉体具有形成空腔的炉壁，炉壁上设置有透明的观察窗。直径测量系统包括设置于观察窗外的光电测距仪以及控制器，光电测距仪用于检测硅芯外表面与自身的距离；控制器与光电测距仪通过导线与光电测距仪电连接。控制器能够将从光电测距仪接收到的信号换算成硅芯直径，在显示装置上显示出来。此硅芯炉可以实时监测硅芯的直径，并通过显示装置显示出来，人工可直接读取显示数据，不用经常观察，保护眼睛健康。由于能够准确掌握硅芯的直径尺寸，提高硅芯合格率，因此也减少了人工、物料的浪费。

主权项

1.一种可测量硅芯直径的硅芯炉，其特征在于，所述硅芯炉包括：形成空腔的炉体，所述炉体具有形成空腔的炉壁，所述炉壁上设有透明的观察窗；固定设置于所述炉体内的线圈，所述线圈上设置有供硅芯通过的通孔，所述线圈通过在通电的情况下能够产生高频感应电流给母料提供熔化的热量；所述线圈下方设置有用于承托所述母料的安装座，所述安装座与升降机构传动连接；设置于所述线圈上方的牵引装置，用于向上拉动所述硅芯；直径测量系统，所述直径测量系统包括设置于所述观察窗外的光电测距仪以及控制器，所述光电测距仪用于检测安装于所述安装座上的所述硅芯外表面与自身的距离；所述控制器与所述光电测距仪通过导线与所述光电测距仪电连接；显示装置，所述显示装置与所述控制器电连接。