[实用新型]一种多晶硅铸锭炉坩埚有效

专利信息
申请号: 201820584893.2 申请日: 2018-04-24
公开(公告)号: CN208250457U 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 赵永雷;周磊;郭建军 申请(专利权)人: 湖南金石新材料有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06
代理公司: 长沙科永臻知识产权代理事务所(普通合伙) 43227 代理人: 杨琦玲
地址: 412500 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣和座台,座台由底座和凸台一体化组成,凸台位于底座上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣拼合围在凸台的外表面形成一个整体坩埚,埚瓣的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽,相邻来那个埚瓣贴合的侧边榫槽内部插接有插接板。该种多晶硅铸锭炉坩埚通过设置座台并在埚瓣和底座之间设置插接柱和插接孔,便于将埚瓣对合拼接在座台上,降低组装难度,提高组装稳定性,并且在埚瓣之间设置榫槽和起到榫卯作用的插接板,使得组装后的坩埚强度提高,结构更加稳定。
搜索关键词: 坩埚 多晶硅铸锭炉 凸台 榫槽 组装 插接板 座台 底座 本实用新型 底座上表面 竖直侧面 整体坩埚 插接孔 插接柱 设置座 圆柱状 侧边 插接 对合 面形 拼合 贴合 榫卯 拼接 一体化
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣(1)和座台(2),其特征在于:所述座台(2)由底座(4)和凸台(5)一体化组成,所述凸台(5)位于底座(4)上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣(1)拼合围在凸台(5)的外表面形成一个整体坩埚,所述埚瓣(1)的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽(9),相邻来那个埚瓣(1)贴合的侧边榫槽(9)内部插接有插接板(3)。
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