[实用新型]一种原子力显微镜超短距离激光检测装置有效
| 申请号： | 201820591193.6 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN208476958U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 韩雄;都有为;钱锋;王矛宏;王辰成 | 申请（专利权）人： | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种原子力显微镜超短距离激光检测装置，包括：光学物镜组件；以及设于所述光学物镜组件正下方的激光检测头，所述激光检测头包括：内部中空的壳体；及设于所述壳体内部的激光器组件、探针架组件、及位置探测器组件，其中，所述光学物镜组件包括物镜转盘以及布置于所述物镜转盘周向上的多个不同放大倍数的物镜，所述物镜的放大倍数为4～100倍。本实用新型提供的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其具有彻底解决了现有装置低倍物镜定位不够准确的问题，可以根据样品实际情况进行随意切换放大倍数和光学视野，极大的方便了原子力显微镜的操作性，能够很轻易的找到待测的样本区域的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 原子力显微镜 短距离激光 光学物镜 检测装置 本实用新型 激光检测头 物镜转盘 放大 物镜 激光器组件 位置探测器 低倍物镜 光学视野 壳体内部 内部中空 现有装置 样本区域 组件包括 探针架 壳体 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，包括：光学物镜组件(1)；以及设于光学物镜组件(1)正下方的激光检测头(2)，该激光检测头(2)包括：内部中空的壳体(21)；及设于壳体(21)内部的激光器组件(22)、探针架组件(23)、及位置探测器组件(24)，其中，光学物镜组件(1)包括物镜转盘(11)以及布置于物镜转盘(11)周向上的多个不同放大倍数的物镜，所述物镜的放大倍数为4～100倍。
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