[实用新型]一种氧化锌薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201820601926.X | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN208045507U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;吴远志;叶拓;毛祖莉;邓彬 | 申请（专利权）人： | 湖南工学院 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L29/786 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 421002 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种氧化锌薄膜晶体管，为多层薄膜复合结构，由下至上依次包括衬底层、栅极、绝缘栅介质层、氧化锌有源层、隔绝层；所述栅极内嵌于绝缘栅介质层内；隔绝层的下端内嵌于氧化锌有源层，则氧化锌有源层的中部厚度比两侧的厚度薄，从而形成三个区域，分别是位于氧化锌有源层两侧的源极区和漏极区，及位于源极区和漏极区中间的沟道区，隔绝层位于沟道区上；源极区上设有源极金属电极，漏极区上设有漏极金属电极，源极区与源极金属电极之间和漏极区与漏极金属电极之间均设有掺杂层。本实用新型采用氧化锌有源层，能提升晶体管的开关电流比；能进一步降低关态电流；间接提升氧化锌有源层设计的薄膜晶体管的开关电流比。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 源层 漏极区 源极区 隔绝层 晶体管 漏极金属电极 源极金属电极 开关电流比 氧化锌薄膜 沟道区 介质层 绝缘栅 内嵌 薄膜晶体管 本实用新型 多层薄膜 复合结构 关态电流 掺杂层 衬底层 厚度比 下端 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌薄膜晶体管，为多层薄膜复合结构，其特征在于：由下至上依次包括衬底层、栅极、绝缘栅介质层、氧化锌有源层、隔绝层；所述栅极内嵌于绝缘栅介质层内；所述隔绝层的下端内嵌于氧化锌有源层，则氧化锌有源层的中部厚度比两侧的厚度薄，从而形成三个区域，分别是位于氧化锌有源层两侧的源极区和漏极区，及位于源极区和漏极区中间的沟道区，所述隔绝层位于沟道区上；所述源极区的上表面连接有源极金属电极，所述漏极区上表面连接有漏极金属电极，所述源极区与源极金属电极之间和漏极区与漏极金属电极之间均设有掺杂层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南工学院，未经湖南工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820601926.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
