[实用新型]一种掩膜边框有效
申请号: | 201820605290.6 | 申请日: | 2018-04-25 |
公开(公告)号: | CN208604191U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 陈涛;赵树利;叶亚宽;杨立红 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜边框,包括掩膜边框本体、第一遮盖板和第二遮盖板。本方案对掩膜边框本体进行改进,在掩膜边框本体上设置第一遮盖板和第二遮盖板,在前道PVD镀TCO膜层的工序中,在第一遮盖板和第二遮盖板的遮挡位置不形成TCO膜层。本方案通过第一遮盖板和第二遮盖板在清边工序前预先形成了现有技术中清边工序通过刮刀形成的凹槽,在清边工序中不需要再对薄膜进行刮划,节省了一部分加工时间,而且也不需要再设置刮刀装置,在薄膜太阳能电池的加工过程中也就不需要再对刮刀装置进行维修和更换,进一步缩短了加工时间,有效提高了薄膜太阳能电池的生产效率,由于减少清边设备短边清边结构中的机械刮刀结构,提高了电池清边工序工艺稳定性。 | ||
搜索关键词: | 遮盖板 清边 掩膜 边框本体 薄膜太阳能电池 边框 刮刀装置 本实用新型 维修和更换 工序工艺 机械刮刀 生产效率 预先形成 遮挡位置 短边 刮刀 薄膜 加工 电池 改进 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜边框,其特征在于,包括:掩膜边框本体(1),所述掩膜边框本体(1)内设置有玻璃基板;安装于所述掩膜边框本体(1)的与所述基板的一个宽边位置对应的第一遮盖板(2),所述第一遮盖板(2)的长度至少等于所述掩膜边框本体(1)的内边缘的宽度,所述第一遮盖板(2)的外沿与所述基板的边缘之间的宽度为清边宽度;安装于所述掩膜边框本体(1)的与所述基板的另一个宽边位置对应的第二遮盖板(3),所述第二遮盖板(3)的长度至少等于所述掩膜边框本体(1)的内边缘的宽度,所述第二遮盖板(3)的外沿与所述基板的边缘之间的宽度为所述清边宽度。
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