[实用新型]用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置有效
| 申请号： | 201820619902.7 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN208207260U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 林志龙;魏岚;林梦潺 | 申请（专利权）人： | 厦门信达光电物联科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;H01L33/46 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠;叶碎银 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置，所述反射膜包括多层膜，所述多层膜包括若干层第一氧化膜和若干层第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜为氧化铪膜或氧化铝膜，第二氧化膜为氧化硅膜。本实用新型采用带粘附性及反射性的氧化铪膜或氧化铝配合氧化硅作为介质材料，通过膜系结构设计形成能够取代贵金属金的深紫外线反射膜，从中保证在降低材料成本的条件下生成反射性能优良的深紫外线反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化膜 反射膜 深紫外线 本实用新型 氧化铪膜 多层膜 反射件 材料成本 反射性能 交替分布 介质材料 膜系结构 氧化硅膜 氧化铝膜 贵金属 反射性 氧化硅 粘附性 氧化铝 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于深紫外线的反射膜，包括多层膜，其特征在于：所述多层膜包括若干层第一氧化膜和若干层第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜为氧化铪膜或氧化铝膜，第二氧化膜为氧化硅膜。
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