[实用新型]一种晶圆可拆卸式修边载具

摘要

本实用新型涉及一种晶圆可拆卸式修边载具，包括圆形底板，圆形底板中部开有圆形通孔，圆形底板的侧壁围绕着圆周均匀布置有四个第一定位块，第一定位块与圆形底板相连的面为圆弧面，圆弧面与圆形底板的侧壁相配，其中两个相邻的第一定位块之间安装有第二定位块，第二定位块靠近圆形通孔一侧的侧壁为竖直面，第二定位块呈长方体结构，第二定位块两侧的侧壁上均竖直开有一字卡槽，位于第二定位块两侧的第一定位块其侧壁上均竖直布置有与一字卡槽相配的限位条。本实用的第二定位块拆装方便，装入时，只需一字卡槽与限位条便可插入，当第二定位块需要拔出时，可以装上提手，通过提手拔出，也可以直接拔出；且第二定位块的耐磨性较好。

主权项

1.一种晶圆可拆卸式修边载具，包括圆形底板(1)，其特征在于：所述的圆形底板(1)中部开有圆形通孔(4)，该圆形底板(1)的侧壁围绕着圆周均匀布置有四个第一定位块(2)，所述的第一定位块(2)与圆形底板(1)相连的面为圆弧面(3)，该圆弧面(3)与圆形底板(1)的侧壁相配，其中两个相邻的第一定位块(2)之间安装有第二定位块(5)，该第二定位块(5)靠近圆形通孔(4)一侧的侧壁为竖直面(6)，所述的第二定位块(5)呈长方体结构，该第二定位块(5)两侧的侧壁上均竖直开有一字卡槽(7)，所述的一字卡槽(7)下端贯穿第二定位块(5)的下端面，位于第二定位块(5)两侧的第一定位块(2)其侧壁上均竖直布置有与一字卡槽(7)相配的限位条(8)。