[实用新型]一种晶圆便捷式修边载具

摘要

本实用新型涉及一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板，圆形底板中部开有第一圆孔，围绕着第一圆孔均匀布置有若干个第二圆孔，圆形底板侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块、平边定位块和弧形定位块，平边定位块靠近圆形底板中部的端面为竖直面，平边定位块的两端设置有圆形底板边缘形状相配的弧形延伸部，弧形定位块与圆形底板侧壁相连的面为圆弧面，圆弧面与圆形底板的侧壁形状相配。本实用方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片Wafer(晶圆)放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题。

主权项

1.一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板(5)，其特征在于：所述的圆形底板(5)中部开有第一圆孔(4)，围绕着第一圆孔(4)均匀布置有若干个第二圆孔(2)，所述的圆形底板(5)侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块(1)、平边定位块(3)和弧形定位块(1)，该平边定位块(3)靠近圆形底板(5)中部的端面为竖直面(6)，所述的平边定位块(3)的两端设置有圆形底板(5)边缘形状相配的弧形延伸部(7)，所述的弧形定位块(1)与圆形底板(5)侧壁相连的面为圆弧面，该圆弧面与圆形底板(5)的侧壁形状相配。