[实用新型]加热器及单晶炉有效
申请号: | 201820633078.0 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN208219009U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 乔乐;汪奇;罗永伟;邹静;牛荣庆;刘鑫;周小东;常彦东;马晓梅 | 申请(专利权)人: | 新疆晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种加热器及单晶炉,涉及单晶硅制备设备技术领域,主要目的是提供一种能够提高生产效率的加热器及单晶炉。本实用新型的主要技术方案为:一种加热器,包括:本体;连接脚,连接脚包括连接部和脚板,连接部的一端可拆卸连接于本体,另一端固定连接于脚板,脚板具有相对的第一侧面和第二侧面,在第一侧面设置第一连接孔,在第二侧面设置第二连接孔,第一连接孔与第二连接孔相互连通,其中,第一连接孔的直径大于第二连接孔的直径。本实用新型主要用于制备单晶硅。 | ||
搜索关键词: | 连接孔 加热器 本实用新型 单晶炉 脚板 单晶硅 侧面设置 连接脚 可拆卸连接 生产效率 制备设备 侧面 制备 连通 | ||
【主权项】:
1.一种加热器,其特征在于,包括:本体;连接脚,所述连接脚包括连接部和脚板,所述连接部的一端可拆卸连接于所述本体,另一端固定连接于所述脚板,所述脚板具有相对的第一侧面和第二侧面,在所述第一侧面设置第一连接孔,在所述第二侧面设置第二连接孔,所述第一连接孔与所述第二连接孔相互连通,其中,所述第一连接孔的直径大于所述第二连接孔的直径。
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