[实用新型]一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置有效
| 申请号： | 201820641971.8 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN208265781U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 罗文富 | 申请（专利权）人： | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;G01M3/04 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 何家富 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，包括机架，所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔，电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽，电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒，电极未穿过部分被气腔筒包围，气腔筒上设有气嘴和压力表，还设有一个拉紧机构，拉紧机构可将电极由气腔筒一侧向水槽一侧逐渐拉紧，拉紧后整个安装孔边缘与电极的环形凸台贴合，气腔筒和水槽之间具有连通通道，连通通道位于电极环形凸台的贴合范围内，这种检漏装置能够模拟电极的安装环境以进行检漏。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 气腔 水槽 检漏装置 穿过 多晶硅还原炉 电极安装 环形凸台 拉紧机构 连通通道 拉紧 贴合 压力表 安装孔边缘 本实用新型 安装环境 模拟电极 安装孔 供电极 检漏 气嘴 包围 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔，电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽，电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒，电极未穿过部分被气腔筒包围，气腔筒上设有气嘴和压力表，还设有一个拉紧机构，拉紧机构可将电极由气腔筒一侧向水槽一侧逐渐拉紧，拉紧后整个安装孔边缘与电极的环形凸台贴合，气腔筒和水槽之间具有连通通道，连通通道位于电极环形凸台的贴合范围内。
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