[实用新型]显影喷嘴清洗槽及显影液喷涂系统

摘要

本实用新型提供一种显影喷嘴清洗槽及显影液喷涂系统，包括：清洗槽主体；凹槽，位于清洗槽主体内；密封圈，位于清洗槽主体的顶部，并位于凹槽外围；显影喷嘴置于显影喷嘴清洗槽上时，显影液容纳主体的底部压紧密封圈，以将显影液容纳主体与清洗槽主体之间的凹槽形成为密闭空腔，喷嘴收容于密闭空腔内；抽气管路，一端经由清洗槽主体的侧壁插入凹槽内，另一端位于清洗槽主体外侧；用于将密闭空腔抽成微真空的真空泵，与抽气管路位于所述清洗槽主体外侧的一端相连接。本实用新型可以有效避免空气进入喷嘴内，不会在喷嘴内的显影液中形成微气泡，从而可以确保下次显影液喷涂时的喷涂性能，提高生产良率。

主权项

1.一种显影喷嘴清洗槽，用于对显影喷嘴进行清洗，所述显影喷嘴包括显影液容纳主体及喷嘴，所述喷嘴位于所述显影液容纳主体下方，且与所述显影液容纳主体内部相连通，其特征在于，所述显影喷嘴清洗槽包括：清洗槽主体；凹槽，位于所述清洗槽主体内；密封圈，位于所述清洗槽主体的顶部，并位于所述凹槽外围，且所述密封圈环绕所述凹槽四周；所述显影喷嘴置于所述显影喷嘴清洗槽上时，所述显影液容纳主体的底部压紧所述密封圈，以将所述显影液容纳主体与所述清洗槽主体之间的所述凹槽形成为密闭空腔，所述喷嘴收容于所述密闭空腔内；抽气管路，一端经由所述清洗槽主体的侧壁插入所述凹槽内，另一端位于所述清洗槽主体外侧；用于将所述密闭空腔抽成微真空的真空泵，与所述抽气管路位于所述清洗槽主体外侧的一端相连接。