[实用新型]光刻光源传输光路系统的辅助调整装置有效
| 申请号： | 201820656776.2 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN208076921U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 苏佳妮;齐月静;王宇;卢增雄;杨光华;齐威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设有能够与反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，第二辅助架的前端设有反射元件，第二辅助架的后端设有能够与反射镜装置相配合连接的第二接口，激光光源发出的光线能够穿过所述标记部在反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且该第一光斑能够经第二辅助架的反射元件反射后返回至第一辅助架。本实用新型利用标记辅助架和反射辅助架配合调整，能实现长距离传输光路中光斑位置及形状的快速、准确调整。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助架 反射镜装置 辅助调整装置 本实用新型 光斑 反射元件 光路系统 光源传输 激光光源 配合连接 标记部 光刻 反射 长距离传输 标记部位 标记辅助 表面成像 光斑位置 前端表面 透光 光路 穿过 返回 配合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，用于调整传输光路系统中的光斑，所述传输光路系统包括多个反射镜装置，其特征在于，所述辅助调整装置包括第一辅助架和第二辅助架，所述第一辅助架和所述第二辅助架能够分别安装在不同的所述反射镜装置上，所述第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，所述标记部位于所述第一辅助架的中心，所述第一辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，所述第二辅助架的前端设有反射元件，所述第二辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置相配合连接的第二接口，所述激光光源发出的光线能够穿过所述第一辅助架的所述标记部在所述反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能够经所述第二辅助架的所述反射元件反射后返回至所述第一辅助架。
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