[实用新型]一种新型硅片氧化设备

摘要

本实用新型提供一种新型硅片氧化设备,包括可编程控制器、氧气泄露传感器、气体管道气动阀、温度传感器、烟雾探测器以及排废管道气动阀，氧气泄露传感器收集到氧气泄露信息后，将信号传输给可编程控制器，可编程控制器接收到氧气泄露传感器发出的信号后给气体管道气动阀发布指令，使其关闭管道，组织氧气继续泄露；温度传感器在温度超过预设值时将信号传输给可编程控制器，可编程控制器接收信号后发布指令给排废管道气动阀关闭排废管道；烟雾探测器在探测到烟雾后将信号传给可编程控制器，可编程控制器接收信号后发布指令给排废管道气动阀关闭排废管道，通过这些传感器及气动阀，提高了硅片氧化设备的安全性。

主权项

1.一种新型硅片氧化设备，其特征在于包括：可编程控制器，所述可编程控制器用以接收传感器发出的信号并根据所接收的信号发布相应指令；氧气泄露传感器，所述氧气泄露传感器与所述可编程控制器电性相连，所述氧气泄露传感器用以当检测有氧气泄露时将氧气泄露信号传输给所述可编程控制器；根据可编程控制器指令控制输入气体的通断的气体管道气动阀，所述气体管道气动阀与所述可编程控制器电性相连，所述气体管道气动阀用以当所述可编程控制器接收到所述氧气泄露传感器发出的氧气泄露信号后发出关闭氧气通道的指令时关闭氧气通道；温度传感器，所述温度传感器与所述可编程控制器电性相连，所述温度传感器用以当探测到温度超过预设温度时传送温度信号给所述可编程控制器；烟雾探测器，所述烟雾探测器与所述可编程控制器电性相连，所述烟雾探测器用以当探测到烟雾时传送信号给所述可编程控制器；以及排废管道气动阀，所述排废管道气动阀与所述可编程控制器电性相连，所述排废管道气动阀用以当所述可编程控制器接收到所述温度传感器和所述烟雾探测器其中任意一个或两个同时发出的信号后发出关闭排废管道气动阀的指令时关闭排废管道气动阀。