[实用新型]坩埚护板

摘要

本实用新型提供了一种坩埚护板，包括板体、导热板、第一装配板和第二装配板，板体上端设有限流孔，限流孔包括排气孔和进气孔，进气孔背向石英坩埚设置，排气孔的孔径小于进气孔的孔径，且进气孔的孔径从与板体外壁的接触端朝向进气孔依序减小，排气孔的内壁上设有限流柱，限流柱背向排气孔的内壁凸起，导热板的两侧与板体的本体贴合，本实用新型通过排气孔和进气孔的设计，有效的降低了坩埚护板与石英坩埚之间的接触面积，降低了因坩埚护板与石英坩埚接触所产生的二氧化碳气体，同时，通过排气孔的孔径小于进气孔的孔径设计，减少了外部二氧化碳气体朝向石英坩埚的流通，从而达到降低硅锭碳含量，最终降低硅片中碳含量的效果。

主权项

1.一种坩埚护板，其特征在于：包括板体、设于所述板体内的导热板和分别设于所述板体对立侧壁上的第一装配板和第二装配板，所述板体上端设有限流孔，所述限流孔包括朝向石英坩埚设置的排气孔和与所述排气孔相连通的进气孔，所述进气孔背向所述石英坩埚设置，所述排气孔的孔径小于所述进气孔的孔径，且所述进气孔的孔径从与所述板体外壁的接触端朝向所述进气孔依序减小，所述排气孔的内壁上设有限流柱，所述限流柱背向所述排气孔的内壁凸起，所述限流柱用于降低所述排气孔的孔径，所述排气孔用于通过采用小孔径的方式以降低所述进气孔朝向所述石英坩埚输送的二氧化碳气体，所述导热板的两侧与所述板体的内壁贴合，所述导热板用于对所述石英坩埚进行均匀导热。