[实用新型]一种多工位移动型显微镜检测设备

摘要

本实用新型公开了一种多工位移动型显微镜检测设备。该设备属于机械自动化技术领域，解决了现有技术中显微镜检测设备检测精度低、易损伤硅晶片、自动化程度低的问题，包括底座，底座表面设有输送硅晶片的输送装置，端部设有用于装夹硅晶片的定位夹具，侧部设有控制箱，控制箱内侧固定连接有架于输送装置上方的固定桥臂，桥臂端部连接有显微镜，显微镜正对于输送装置。本实用新型利用输送装置，使硅晶片准确输送至显微镜下，不仅输送方向多样化，定位精准化，而且避免了工作人员在高温、易爆、腐蚀等环境下的工作，提升了人员的安全性，利用吸附夹具对硅晶片进行吸引移用，不仅使硅晶片稳定运输，而且避免污染硅晶片，提升了测量的精度。

主权项

1.一种多工位移动型显微镜检测设备，包括底座，其特征在于：所述底座表面设有输送硅晶片的输送装置，端部设有用于装夹硅晶片的定位夹具，侧部设有控制箱，所述控制箱内侧固定连接有架于输送装置上方的固定桥臂，所述桥臂端部连接有多功能显微镜，所述多功能显微镜正对于输送装置；所述输送装置包括与定位夹具背面固定连接的沿Y轴轴向运动的Y轴运动机构、与Y轴运动机构固定连接的沿Z轴轴向运动的Z轴运动机构以及架设于底座表面的沿X轴轴向运动的X轴运动机构，所述X轴运动机构两侧设有手动滑动机构，所述Y轴运动机构包括固定连接于定位夹具背面的第一滑块，所述第一滑块底部与Y轴滑轨滑动连接，所述Y轴滑轨设于定位夹具底部，且滑道设于定位夹具内侧，所述第一滑块背面与Z轴滑轨滑动连接，所述Z轴运动机构包括设于定位夹具外侧的Z轴滑轨，所述Z轴滑轨竖直设置，且其表面滑动连接第一滑块，所述X轴运动机构包括正对于定位夹具出口的X轴滑轨，所述X轴滑轨表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块表面固定连接有用于吸附硅晶片的吸附夹具，所述手动滑动机构包括设于X轴滑轨两侧的滑动平台，所述滑动平台沿X轴轴向设置，其底部设有用于驱使滑动平台滑动的移动盘，所述移动盘底部设有支撑架，所述支撑架置于底座上方，所述滑动平台底部设有L形连接块，所述L形连接块前端设有促使滑动平台移动的手动启动按钮。