[实用新型]一种大型曝光机用可增加良率的改进结构

摘要

本实用新型公开了一种大型曝光机用可增加良率的改进结构，包括机体、下玻璃和导气条，所述机体的上方左侧固定有真空泵，且真空泵的右侧安装有固定柱，所述固定柱的右下方设置有底板，且底板的上方安装有下框架，所述下玻璃固定于下框架的上方，所述固定柱的右侧安装有后板，且后板的上方固定有气缸，所述气缸的下端设置有活塞杆，且活塞杆的两侧固定有联动杆，所述联动杆的下方安装有上框架，且上框架的下方固定有上玻璃，所述底板的两侧设置有滑槽。该大型曝光机用可增加良率的改进结构设置有两个真空泵，真空泵可以利用真空吸嘴通过导气条将产品区域内的空气排走，使得膜材在密闭环境的曝光过程中能够避免受到外界环境的污染。

主权项

1.一种大型曝光机用可增加良率的改进结构，包括机体(1)、下玻璃(6)和导气条(19)，其特征在于：所述机体(1)的上方左侧固定有真空泵(2)，且真空泵(2)的右侧安装有固定柱(3)，所述固定柱(3)的右下方设置有底板(4)，且底板(4)的上方安装有下框架(5)，所述下玻璃(6)固定于下框架(5)的上方，所述固定柱(3)的右侧安装有后板(7)，且后板(7)的上方固定有气缸(9)，所述气缸(9)的下端设置有活塞杆(8)，且活塞杆(8)的两侧固定有联动杆(10)，所述联动杆(10)的下方安装有上框架(11)，且上框架(11)的下方固定有上玻璃(12)，所述底板(4)的两侧设置有滑槽(13)，所述下框架(5)的内部设置有定位凹槽(14)，且定位凹槽(14)的内侧固定有膨胀密封圈(15)，所述膨胀密封圈(15)的内侧安装有下玻璃(6)，且下玻璃(6)的两侧固定有夹具(16)，所述膨胀密封圈(15)的上方固定有真空吸嘴(17)，且真空吸嘴(17)的右侧设置有气压传感器(18)，所述导气条(19)安装于气压传感器(18)的右侧。