[实用新型]一种超大立式镀膜机及镀膜设备有效
申请号: | 201820706007.9 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN208815113U | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 徐志淮 | 申请(专利权)人: | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 孙辉 |
地址: | 215331 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械设备技术领域,具体而言,涉及一种超大立式镀膜机及镀膜设备。超大立式镀膜机,其包括主体、进气结构和出气结构。主体具备第一容纳空间;至少两个进气结构,进气结构均设置在主体上以连通第一容纳空间;进气结构沿第一平面对称地设置在主体上;至少两个出气结构,两个出气结构均设置在主体上以连通第一容纳空间;出气结构沿第二平面对称地设置在主体上;第一平面与第二平面具备预设的夹角。这样的超大立式镀膜机镀膜效果均匀,产品品质出众。 | ||
搜索关键词: | 立式镀膜机 出气结构 进气结构 容纳空间 镀膜设备 平面对称 连通 本实用新型 产品品质 镀膜效果 机械设备 预设 | ||
【主权项】:
1.超大立式镀膜机,其特征在于,包括:主体,主体具备第一容纳空间;至少两个进气结构,所述进气结构均设置在主体上以连通所述第一容纳空间;所述进气结构沿第一平面对称地设置在所述主体上;至少两个出气结构,所述出气结构均设置在主体上以连通所述第一容纳空间;所述出气结构沿第二平面对称地设置在所述主体上;所述第一平面与所述第二平面具备预设的夹角。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的