[实用新型]光刻机光源装置有效
| 申请号： | 201820709656.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208399889U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 敬立成;戴滔;张斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市虎成科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种光刻机光源装置，包括光源安装架，光源安装架上设有多块光源单元板，所述光源单元板包括基板及多个UV LED光源，基板上开设有多个螺孔，基板通过螺丝固定于光源安装架上；UV LED光源包括UV LED灯芯及对应的透镜，透镜穿设于光源安装架上且透镜与光源安装架之间垫设有橡胶圈，所述透镜的透光角度小于2.5度，UV LED灯芯设于基板正面上对应透镜的焦点处。本实用新型实施例通过将整个UV LED光源分别设于多块光源单元板上进行安装同时采用多个螺丝调整光源单元板进而对光源单元板上各个透镜的角度进行微调，解决了光束方向难以微调以及光斑分散的问题，进而提高了光刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 光源安装架 光源单元板 基板 本实用新型 光源装置 光刻机 多块 微调 螺丝固定 光斑 透光 焦点处 橡胶圈 穿设 光刻 螺孔 螺丝 | ||
【主权项】：
1. 一种光刻机光源装置，包括光源安装架，其特征在于，光源安装架上设有多块光源单元板，所述光源单元板包括基板及多个UV LED光源，基板上开设有多个螺孔，基板通过螺丝固定于光源安装架上；UV LED光源包括UV LED灯芯及对应的透镜，透镜穿设于光源安装架上且透镜与光源安装架之间垫设有橡胶圈，所述透镜的透光角度小于2.5度，UV LED灯芯设于基板正面上对应透镜的焦点处。
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