[实用新型]一种单晶硅棒切片装置有效
| 申请号： | 201820710729.1 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208645714U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 朱文志;李波;林冬;黄田玉;林孝狮;汤文博;林光展 | 申请（专利权）人： | 福州天瑞线锯科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;张忠波 |
| 地址： | 350100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶硅棒切片装置，包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构；工作台上具有线锯让位槽，线锯让位槽自工作台顶面向下开设；手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘，万向支臂一端与磁性表座连接，万向支臂的另一端与切片吸盘连接，手工取片工装位于工作台上，切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面；线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。在本装置中手工取片工装，装夹待切割单晶硅片，装夹效率高，单晶硅片的吸附稳定可靠，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 线锯 切割单元 工装 切片 取片 单晶硅棒 提升机构 万向支臂 工作台 切割 吸盘 磁性表座 单晶硅片 切片装置 运行机构 让位槽 装夹 本实用新型 单晶硅 吸附稳定 吸盘连接 加工 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅棒切片装置，其特征在于，所述切片装置包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构；所述工作台上具有线锯让位槽，所述线锯让位槽自工作台顶面向下开设，所述工作台用于放置待切割单晶硅棒；所述手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘，所述万向支臂一端与磁性表座连接，万向支臂的另一端与切片吸盘连接，手工取片工装位于工作台上，所述切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面；所述线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，所述线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。
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