[实用新型]一种湿式制程设备液流物理洗净装置

摘要

一种湿式制程设备液流物理洗净装置，横向安装在湿式制程设备中，包括本体，本体包括特氟龙管，所述特氟龙管为一端封口，另一端设有连接孔的圆柱形腔体，其连接孔端与湿式制程机台的药液进液管联通，且端部与湿式制程机台的传动装置轴套连接，特氟龙管的圆柱外壁设有均匀排列的通孔，特氟龙管外壁设有包覆的刷毛。本实用新型所述的一种湿式制程设备液流物理洗净装置，设计为整合型模刷清洗机构，特氟龙管一端通入药液，药液经特氟龙管上的通孔流出，可一边刷一边通入药液，药液从刷毛间流出，洗刷过程中的冲力可以使得脏污难以粘附在毛刷上，保持毛刷的洁净度，从而可保证对半导体晶圆刷洗过程中不带入污染物，提高良品率的同时，延长模刷的使用寿命。

主权项

1.一种湿式制程设备液流物理洗净装置，横向安装在湿式制程设备中，其特征是，包括本体(1)，所述本体(1)包括特氟龙管(2)，所述特氟龙管(2)为一端封口，另一端设有连接孔的圆柱形腔体，其连接孔端与湿式制程机台的药液进液管(3)联通，且端部与湿式制程机台的传动装置轴套连接，特氟龙管(2)的圆柱外壁设有均匀排列的通孔(4)，特氟龙管(2)外壁设有包覆的刷毛(5)。