[实用新型]一种水冷籽晶杆有效
| 申请号： | 201820719741.9 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN208235031U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 唐飞;苏良碧;钱小波;吴庆辉;姜大朋;王静雅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C30B11/14 | 分类号： | C30B11/14 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种水冷籽晶杆，所要解决的技术问题在于提供一种能够增大籽晶下端散热的水冷籽晶杆。所述水冷籽晶杆包括：下封块（1）、上支撑块（6）、连接于所述下封块（1）与上支撑块（6）之间的中空的支撑环（2）、以及位于所述支撑环（2）内的实心柱（3）；所述下封块（1）、支撑环（2）、实心柱（3）与上支撑块（6）之间的空腔形成为流通有冷却水的冷却内腔。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶杆 水冷 上支撑块 支撑环 封块 实心柱 本实用新型 空腔形成 冷却内腔 冷却水 中空的 散热 下端 籽晶 流通 | ||
【主权项】：
1.一种水冷籽晶杆，其特征在于，包括：下封块（1）、上支撑块（6）、连接于所述下封块（1）与上支撑块（6）之间的中空的支撑环（2）、以及位于所述支撑环（2）内的实心柱（3）；所述下封块（1）、支撑环（2）、实心柱（3）与上支撑块（6）之间的空腔形成为流通有冷却水的冷却内腔。
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