[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201820726922.4 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN208188581U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;田边昌大 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型的目标在于提供一种能够解决因气泡造成的处理不匀的问题的抗蚀剂层的薄膜化装置。在具备薄膜化处理单元的抗蚀剂层的薄膜化装置中，其特征在于，薄膜化处理单元具备装有薄膜化处理液（9）的浸涂槽（10）、将从浸涂槽（10）溢流的薄膜化处理液（9）储存的薄膜化处理液储存罐（13）、设置在薄膜化处理液储存罐（13）内的薄膜化处理液吸入口、设置在浸涂槽（10）内的薄膜化处理液供给口（11）、以及用来将从薄膜化处理液吸入口吸入的薄膜化处理液（9）向浸涂槽（10）供给的薄膜化处理液供给泵（14）；在该薄膜化处理液吸入口处具备过滤部（24），该过滤部（24）的上表面侧被遮蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜化处理 浸涂槽 薄膜化装置 抗蚀剂层 液吸入口 储存罐 过滤 本实用新型 供给泵 供给口 入口处 上表面 吸入 溢流 遮蔽 储存 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂层的薄膜化装置，所述抗蚀剂层的薄膜化装置具备薄膜化处理单元，所述抗蚀剂层的薄膜化装置的特征在于，薄膜化处理单元具备装有薄膜化处理液的浸涂槽、储存从浸涂槽溢流的薄膜化处理液的薄膜化处理液储存罐、设置在薄膜化处理液储存罐内的薄膜化处理液吸入口、设置在浸涂槽内的薄膜化处理液供给口、以及用来将从薄膜化处理液吸入口吸入的薄膜化处理液向浸涂槽供给的薄膜化处理液供给泵；在该薄膜化处理液吸入口处具备过滤部，该过滤部的上表面侧被遮蔽。
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