[实用新型]一种石英超真空腔

摘要

本实用新型公开了一种石英超真空腔，包括第一箱体、石英管、透气板和连接杆，所述第一箱体的内侧通过连接件连接有第二箱体，且第二箱体的内侧通过连接件连接有第三箱体，同时第三箱体的内部设置有真空腔，所述石英管安装在第三箱体的上方，且石英管的顶部开设有通气孔，同时通气孔的顶部固定有石英板，所述透气板设置在第一箱体的外表面，且透气板的内部开设有透气孔，同时第一箱体的底部左右两端设置有防滑垫，所述连接杆连接在石英板的下端面，且连接杆的下端设置有螺纹头。该石英超真空腔，整体的设计增大了腔体的密封性能，增强了装置使用的稳定性，有效的提高了散热的速度，从而延长了腔体的使用寿命。

主权项

1.一种石英超真空腔，包括第一箱体（1）、石英管（5）、透气板（8）和连接杆（11），其特征在于：所述第一箱体（1）的内侧通过连接件（13）连接有第二箱体（2），且第二箱体（2）的内侧通过连接件（13）连接有第三箱体（3），同时第三箱体（3）的内部设置有真空腔（4），所述石英管（5）安装在第三箱体（3）的上方，且石英管（5）的顶部开设有通气孔（6），同时通气孔（6）的顶部固定有石英板（7），所述透气板（8）设置在第一箱体（1）的外表面，且透气板（8）的内部开设有透气孔（9），同时第一箱体（1）的底部左右两端设置有防滑垫（10），所述连接杆（11）连接在石英板（7）的下端面，且连接杆（11）的下端设置有螺纹头（12）。