[实用新型]一种提升PERC电池效率和良率的背面膜层结构

摘要

本实用新型公开了一种提升PERC电池效率和良率的背面膜层结构，包括硅片，所述背面氧化铝钝化膜远离硅片一侧设置有背面氮化硅保护膜，所述背面氮化硅保护膜远离背面氧化铝钝化膜一侧设置有背面氧化铝保护膜；所述背面氧化铝保护膜厚度为2‑30nm，一种制备方法，用于制备提升PERC电池效率和良率的背面膜层结构，包括以下步骤：S1、制备氧化铝钝化膜；S2、制备氮化硅保护膜；S3、制备氧化铝保护膜。本实用新型通过在背面氮化硅保护膜外侧再镀上一层氧化铝，不但可以减弱氮化硅薄膜的副作用，使得电池转换效率得到提升，而且能够保护氮化硅薄膜不易被机械划伤，提升电池良品率，实用性强，非常值得推广。

主权项

1.一种提升PERC电池效率和良率的背面膜层结构，包括硅片(1)，所述硅片(1)背面上设置有背面氧化铝钝化膜(2)，所述背面氧化铝钝化膜(2)远离硅片(1)一侧设置有背面氮化硅保护膜(3)，其特征在于：所述背面氮化硅保护膜(3)远离背面氧化铝钝化膜(2)一侧设置有背面氧化铝保护膜(4)；所述背面氧化铝保护膜(4)厚度为2‑30nm。