[实用新型]单体多材料多膜厚标准块有效
| 申请号： | 201820740561.9 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN208621031U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 朱小平;杜华;王凯;荣婕;徐真杰;赵沫;崔建军 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人： | 王贵良 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 单体多材料多膜厚标准块，包括平面基体和膜层。为解决多镀层膜厚标准种类少且无法溯源，制造和测量难度大，随着镀层数的增大，从外层到里层的测量误差将会明显增大的技术问题，提出了在较理想的平面基体表面上，分区镀制覆盖不同材料和不同厚度的膜层，基体表面都有各自独立的单膜层工作区域，通过单纵单横或有序纵横正交排列，在单一基体上形成了各种材料不同厚度的单镀层膜、不同材料组合的不同厚度的多镀层膜。溯源方法常用仪器主要为触针式台阶仪和光学膜厚仪，台阶仪为接触式测量，其精度达到0.5%左右，光学膜厚仪为非接触式测量，其精度可达1%。 | ||
| 搜索关键词： | 镀层膜 光学膜厚 平面基体 标准块 台阶仪 膜层 膜厚 溯源 测量 非接触式测量 接触式测量 材料组合 单一基体 工作区域 基体表面 正交排列 单膜层 增大的 触针 镀层 镀制 里层 分区 覆盖 制造 | ||
【主权项】：
1.单体多材料多膜厚标准块，其特征在于：包括平面基体、膜层；所述平面基体为理想平面基体；所述膜层有多种不同材料和厚度；所述膜层排列方式有单纵单横排列、有序纵横正交排列、按照米字线辐射状排列或安定要求布局排列的多种排列方式；所述膜层厚度规格一般不超过三层。
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