[实用新型]一种用于真空器件的吸气剂加热装置有效
申请号: | 201820745938.X | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN208337894U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 | 申请(专利权)人: | 南京华东电子真空材料有限公司 |
主分类号: | H05B3/00 | 分类号: | H05B3/00;H05B3/02 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 210034 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提出的是一种用于真空器件的吸气剂加热装置,其结构包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极;其中加热圈固定于热传导真空管道的外部,温度控制器的输出端与加热圈串联,温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端,温度传感器的输入端设有真空电极,真空电极的末端伸入热传导真空管道的内部。本实用新型的优点:1)热传导效果好,温度可控,并可保持器件内部真空条件不被破坏;2)结构简单、成本较低、安装使用方便。 | ||
搜索关键词: | 温度控制器 真空电极 真空管道 加热圈 热传导 本实用新型 温度传感器 加热装置 真空器件 输出端 吸气剂 连接温度传感器 热传导效果 信号输入端 温度可控 真空条件 输入端 伸入 串联 外部 | ||
【主权项】:
1.一种用于真空器件的吸气剂加热装置,其特征是包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极;其中加热圈固定于热传导真空管道的外部,温度控制器的输出端与加热圈串联,温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端,温度传感器的信号输入端设有真空电极,真空电极的末端固定于热传导真空管道的内部。
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