[实用新型]一种差分式位移传感器有效
| 申请号： | 201820746024.5 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN208206038U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张白 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种差分式位移传感器，该差分式位移传感器包括激光束一；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜一，一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本实用新型差分式位移传感器，通过分光镜组一的设置，当三角波反射面的存在加工误差时，可以使得整个传感器的综合放大倍数保持一致，可靠地保障了传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分光镜 激光束 位移传感器 反光镜 光电探测器 入射 反射 本实用新型 分光镜组 差分式 三角波 传感器 变化量计算 被测物体 处理系统 夹角设置 加工误差 入射位置 位移变化 反射镜 反射面 透射 测量 放大 | ||
【主权项】：
1.一种差分式位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括若干个反射面；激光束一，入射至三角波反射镜的反射面；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束一入射至分光镜一，一部分激光束一先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束一经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；两个所述光电探测器一，用于接收经分光镜组一透射或反射的激光束一，并测量其入射位置；处理系统，用于根据两个光电探测器接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。
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