[实用新型]一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉

摘要

本实用新型的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉，由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成。本实用新型的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉通过在硅棒外侧套圆台形冷却夹套，使得夹套下端气体流速慢且硅棒与冷却夹套之间的空间大，有利于保温和提高反应气体的停留时间，加快下端生长速率，使得夹套上端气体流速快且硅棒与冷却夹套之间的空间小，有利于散热和减小反应气体的停留时间，减小下端生长速率，进而保证了硅棒上下端生长的均匀性；采用特殊设计的气体进出管有利于原料气体SiH₄的均匀分布，降低SiH₄局部浓度过高的风险，减少夹套外的均相分解，减少无定型硅的生成。

主权项

1.一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成；所述的钟罩为带有冷却水夹套的双层结构，其下部为圆筒形、上部为椭圆形；所述的底板为带冷却水夹套的双层结构，为圆盘形；所述的钟罩扣在底板上所形成的内部腔体即为甲硅烷热分解炉腔体；所述的气体进出管由尾气收集口、内管和套管构成，所述的尾气收集口呈圆台形，一端为大口，另一端为小口，所述的尾气收集口的小口与内管的上端连通，大口为气体收集口；所述的套管套在内管外，且两者的中心轴重合，所述的内管的上端伸出套管上端的距离为H3、下端伸出套管的下端为尾气出口；所述的套管的上端与内管之间的环隙封闭，下端与内管之间的环隙为原料气进口；所述的套管的上段侧面开有圆孔为原料气进入甲硅烷热分解炉腔体的口，套管的开孔段长度为H4；所述的底板上设有气体进出管和石墨电极；所述的石墨电极垂直贯穿底板、伸出底板上面的距离为H0；所述的气体进出管垂直贯穿底板、伸出底板上面的距离为H2；所述的圆台形冷却夹套为双层结构，其上端外径为D1，下端外径为D2，高度为H1；所述的石墨电极在底板上呈正六边形排布，每个正六边形的中心排布1个气体进出管；所述的硅棒为倒U型硅棒，其两端分别支撑在石墨电极上；所述的硅棒的垂直段外套有圆台形冷却夹套。