[实用新型]一种柔性基板动态定位机构

摘要

本实用新型公开了一种柔性基板动态定位机构，解决了现有的定位机构存在的实现机构复杂和设备成本高的问题。包括底板座（1）和矩形定位工作面板（15），在矩形定位工作面板（15）上设置有基板吸附孔，在矩形定位工作面板（15）与底板座（1）之间分别设置有定位工作面板支撑立柱（2）、横向铰链座（3）和纵向铰链座（7），在两铰链座上分别设置有气缸，气缸的输出轴通过铰链关节与矩形定位工作面板（15）连接，在定位工作面板支撑立柱（2）上也设置有铰链关节，通过两气缸的输出轴，实现矩形定位工作面板（15）的倾斜和调整；在矩形定位工作面板（15）上设置有横、纵两方向的定位板。本实用新型制作简单、定位准确、稳定可靠。

主权项

1.一种柔性基板动态定位机构，包括底板座（1）和矩形定位工作面板（15），在矩形定位工作面板（15）上设置有基板吸附孔，其特征在于，在底板座（1）的前右顶角上设置有定位工作面板支撑立柱（2），在定位工作面板支撑立柱（2）左侧的底板座（1）上设置有横向铰链座（3），在定位工作面板支撑立柱（2）后侧的底板座（1）上设置有纵向铰链座（7），在定位工作面板支撑立柱（2）的顶端设置有立柱U形支撑座（20），在立柱U形支撑座（20）上设置有立柱U形座销轴（21），在立柱U形座销轴（21）上活动穿接有立柱T形关节块（22），立柱U形座销轴（21）是穿接在立柱T形关节块（22）下端的，在立柱T形关节块（22）的上方设置有立柱π形座（24），在立柱π形座（24）上穿接有立柱π形座销轴（23），立柱π形座销轴（23）与立柱T形关节块（22）的上端穿接在一起，立柱U形座销轴（21）与立柱π形座销轴（23）是相互垂直设置的，立柱π形座（24）与矩形定位工作面板（15）固定连接在一起；在横向铰链座（3）上铰接有横向气缸缸体（4），在横向气缸输出轴（5）的轴端设置有轴端横向U形铰链座（6），在轴端横向U形铰链座（6）上设置有轴端横向U形座销轴（11），在轴端横向U形座销轴（11）上穿接有横向T形关节块（12），轴端横向U形座销轴（11）穿接在横向T形关节块（12）的下端，在横向T形关节块（12）的上方设置有横向气缸π形座（14），在横向气缸π形座（14）上设置有横向气缸π形座销轴（13），横向气缸π形座销轴（13）与横向T形关节块（12）的上端穿接在一起，轴端横向U形座销轴（11）与横向气缸π形座销轴（13）是彼此垂直设置的，横向气缸π形座（14）与矩形定位工作面板（15）固定连接在一起；在纵向铰链座（7）上铰接有纵向气缸缸体（8），在纵向气缸输出轴（9）的轴端设置有轴端纵向U形铰链座（10），在轴端纵向U形铰链座（10）上设置有轴端纵向U形座销轴，在轴端纵向U形座销轴上穿接有纵向T形关节块，轴端纵向U形座销轴是穿接在纵向T形关节块下端的，在纵向T形关节块的上方设置有纵向连接气缸π形座，在纵向连接气缸π形座上设置有纵向连接气缸π形座销轴，纵向连接气缸π形座销轴与纵向T形关节块的上端穿接在一起，轴端纵向U形座销轴与纵向连接气缸π形座销轴是相互垂直设置的，纵向连接气缸π形座与矩形定位工作面板（15）固定连接在一起。