[实用新型]一种真空镀膜机使用的试样旋转装置有效
| 申请号： | 201820761856.4 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208218951U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 韩柏;吕雪松;王健宇;高鑫;孙志 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及工程电介质技术领域，具体为一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔体和镀膜系统；所述真空腔体上设置有法兰接线柱，所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接，所述集电环上端与一组法兰连接，所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接，所述法兰上方还设置有一组磁流体，所述磁流体上方设置有一组驱动转轮，所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接；本实用新型对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。 | ||
| 搜索关键词： | 集电环 镀膜系统 法兰 试样旋转装置 本实用新型 真空镀膜机 驱动转轮 真空腔体 磁流体 接线柱 真空腔 电介质 从上到下 法兰连接 片状试样 实验效率 真空镀膜 电连接 镀膜机 体内部 上端 流体 下端 组磁 体内 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，包括真空腔(18)和镀膜系统；所述真空腔(18)上设置有法兰接线柱(19)，所述法兰接线柱(19)通过导线(7)与设置在真空腔(18)内部的集电环(4)电连接，所述集电环(4)上端与一组法兰(3)连接，所述集电环(4)下端与设置在所述真空腔(18)内的镀膜系统连接，所述法兰(3)上方还设置有一组磁流体(2)，所述磁流体(2)上方设置有一组转轮(1)，所述转轮(1)从上到下依次穿过所述磁流体(2)、所述法兰(3)和所述集电环(4)并与所述镀膜系统连接。
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