[实用新型]一种用于金属靶材绑定的加热平台

摘要

本实用新型公开了一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，底座边缘四周设置汇流槽，汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，加热板一侧边缘开设多个U型槽，加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台使靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。

主权项

1.一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，其特征在于，所述底座上设置加热板，所述加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，所述底座边缘四周设置汇流槽，所述汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，所述汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，所述汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，所述加热板一侧边缘开设多个U型槽，所述加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。