[实用新型]一种具有能量采集功能的声学传感器

摘要

本实用新型涉及一种具有能量采集功能的声学传感器。现有传统的电容式声学传感器对外界低频信号几乎不响应，导致声学信号的部分能量被忽略。本实用新型由下向上依次包括硅衬底、SiO₂刻蚀停止层、多晶硅线圈、SiO₂振膜支撑层、多晶硅振膜层、SiO₂背电极支撑层、SiNx绝缘层、多晶硅背板层、Al₂O₃钝化层。方形螺旋线条状的多晶硅线圈位于SiO₂刻蚀停止层与SiO₂振膜支撑层之间，嵌在SiO₂振膜支撑层内。多晶硅振膜层架设在背腔上，将背腔和振动腔分隔，圆环形磁性线圈黏附在多晶硅振膜层下表面。本实用新型对低频信号极其敏感，既能满足声学传感器的性能，又可以实现能量采集。

主权项

1.一种具有能量采集功能的声学传感器，其特征在于：由下向上依次包括硅衬底(1)、SiO2刻蚀停止层(2)、多晶硅线圈(3)、SiO2振膜支撑层(4)、多晶硅振膜层(5)、SiO2背电极支撑层(6)、SiNx绝缘层(7)、多晶硅背板层(8)、Al2O3钝化层(9)；方形螺旋线条状的多晶硅线圈(3)位于SiO2刻蚀停止层(2)与SiO2振膜支撑层(4)之间，并嵌在SiO2振膜支撑层(4)内；贯穿硅衬底(1)、SiO2刻蚀停止层(2)和SiO2振膜支撑层(4)开设有圆筒形的背腔(10)，贯穿SiO2背电极支撑层(6)开设有圆筒形的振动腔(11)；圆形的多晶硅振膜层(5)架设在背腔(10)上，将背腔(10)和振动腔(11)分隔，圆环形磁性线圈(12)通过圆环形SiO2支架(13)黏附在多晶硅振膜层(5)的下表面；SiNx绝缘层(7)、多晶硅背板层(8)和Al2O3钝化层(9)构成复合型背板，复合型背板架设在振动腔(11)上；贯穿复合型背板设有通孔(14)，多个通孔(14)成矩阵排列；复合型背板下表面设置有防粘着点(15)，多个防粘着点(15)成矩阵排列；通孔(14)与防粘着点(15)交错布置；两个线圈电极(16)和(17)分别依次穿过Al2O3钝化层(9)、SiO2背电极支撑层(6)、SiO2振膜支撑层(4)设置，一端与多晶硅线圈(3)相接，另一端伸出Al2O3钝化层(9)；一个振膜电极(18)依次穿过Al2O3钝化层(9)、SiO2背电极支撑层(6)设置，一端与多晶硅振膜层(5)相接，另一端伸出Al2O3钝化层(9)；一个背电极(19)穿过Al2O3钝化层(9)设置，一端与多晶硅背板层(8)相接，另一端伸出Al2O3钝化层(9)；所述的线圈电极、振膜电极、背电极为圆柱形电极。