[实用新型]一种半导体载具有效

专利信息
申请号: 201820783241.1 申请日: 2018-05-24
公开(公告)号: CN208240633U 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 曹孙根 申请(专利权)人: 安徽钜芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 代理人: 钱卫佳
地址: 247000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种半导体载具,包括放置槽、下基板、侧板和上基板,所述侧板的底部固定安装有下基板,所述下基板的顶部安装有分隔台,所述分隔台的内部开设有放置槽,所述侧板的一侧安装有侧支撑,所述侧板通过滑槽与滚轮连接,所述滚轮的两侧均安装有卡块,所述滚轮的顶部滚动连接有上基板,所述侧板靠近侧支撑的一侧安装有限位柱,所述侧板的四角安装有防撞脚块。本实用新型具有良好的防撞性,拆装便捷和上下卡紧限位的功能,提升了使用的方便性。
搜索关键词: 侧板 下基板 本实用新型 侧支撑 放置槽 分隔台 上基板 滚轮 载具 半导体 顶部安装 滚动连接 滚轮连接 方便性 防撞性 拆装 防撞 滑槽 脚块 卡紧 卡块 位柱 限位
【主权项】:
1.一种半导体载具,包括放置槽(2)、下基板(3)、侧板(6)和上基板(8),其特征在于:所述侧板(6)的底部固定安装有下基板(3),所述下基板(3)的顶部安装有分隔台(1),所述分隔台(1)的内部开设有放置槽(2),所述侧板(6)的一侧安装有侧支撑(5),所述侧板(6)通过滑槽(7)与滚轮(10)连接,所述滚轮(10)的两侧均安装有卡块(11),所述滚轮(10)的顶部滚动连接有上基板(8),所述侧板(6)靠近侧支撑(5)的一侧安装有限位柱(9),所述侧板(6)的四角安装有防撞脚块(4)。
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