[实用新型]一种半导体圆晶清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱内中间放置有半导体圆晶，所述半导体圆晶下方设置有滚轮，所述清洗箱内底部一端固定连接第一电机，所述清洗箱内底部另一端固定连接出液口，所述第一电机动力输出端通过皮带与靠近第一电机的滚轮转动连接，所述半导体圆晶两侧设置有清洗棒，所述清洗棒一端固定连接第二电机，所述清洗棒另一端通过齿轮转动连接，所述半导体圆晶两侧上方固定连接进液管，所述进液管下方固定连接喷头。本实用新型使得半导体圆晶能更加全面充分的清洗，提高了清洗质量和清洗效率，降低了成本。

主权项

1.一种半导体圆晶清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)内中间放置有半导体圆晶(2)，所述半导体圆晶(2)下方设置有滚轮(3)，所述清洗箱(1)内底部一端固定连接第一电机(4)，所述清洗箱(1)内底部另一端固定连接出液口(5)，所述第一电机(4)动力输出端通过皮带与靠近第一电机(4)的滚轮(3)转动连接，所述半导体圆晶(2)两侧设置有清洗棒(6)，所述清洗棒(6)一端固定连接第二电机(7)，所述清洗棒(6)另一端通过齿轮(8)转动连接，所述半导体圆晶(2)两侧上方固定连接进液管(9)，所述进液管(9)下方固定连接喷头(10)。