[实用新型]一种光学芯片组以及光学芯片组抛光质量检查装置

摘要

本实用新型公开一种光学芯片组抛光质量检查装置，包括：数码光学显微镜，用于对所述光学芯片组的研磨面抛光质量进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线入射至所述光学芯片组研磨面上；芯片固定夹具，所述芯片固定夹具包括固定部，所述固定部上形成有至少一条用于固定所述光学芯片组的凹槽，所述光学芯片组插入所述凹槽中时，所述光学芯片组的第一研磨面或第二研磨面呈水平状态。本实用新型还提供一种光学芯片组，所述光学芯片组抛光质量检查装置用于检查所述光学芯片组的所述研磨面抛光质量。本实用新型提供的光学芯片组检测装置能够实现成条检验芯片，并且能直观的检查到光学芯片组研磨面的抛光质量和光波导。

主权项

1.一种光学芯片组，其特征在于，所述光学芯片组呈扁平的长条状；包括沿长度方向相对设置且平行的第一表面和第二表面，以及连接在所述第一表面和第二表面之间的相对设置的研磨面；所述研磨面包括第一研磨面和第二研磨面，所述第一研磨面和第二研磨面分别与所述第一表面呈预设的第一夹角α。