[实用新型]基板抽取装置有效
| 申请号： | 201820801531.4 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208157384U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张陶然;周炟;莫再隆;曲加伟;吕雪峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板抽取装置，包括用于获取基板的机械手，所述机械手包括用于支撑所述基板的多个机械手指，所述基板抽取装置还包括承载台，所述承载台上形成有用于容纳所述机械手指的容纳空间，所述容纳空间具有空间入口和空间出口，所述空间入口位于所述承载台的顶面，所述空间出口位于所述承载台的侧面或底面；所述机械手指能够从所述空间入口进入所述容纳空间，并从所述空间出口离开所述容纳空间，以使所述机械手所承载的基板落在所述承载台上；所述机械手的顶面在所述机械手指离开所述容纳空间时低于所述承载台的顶面。本实用新型能够减少基板取放时对基板造成的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 容纳空间 机械手 机械手指 所述空间 承载台 抽取装置 顶面 本实用新型 承载 空间出口 空间入口 对基板 底面 取放 出口 损伤 容纳 侧面 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基板抽取装置，包括用于获取基板的机械手，所述机械手包括用于支撑所述基板的多个机械手指，其特征在于，所述基板抽取装置还包括承载台，所述承载台上形成有用于容纳所述机械手指的容纳空间，所述容纳空间具有空间入口和空间出口，所述空间入口位于所述承载台的顶面，所述空间出口位于所述承载台的侧面或底面；所述机械手指能够从所述空间入口进入所述容纳空间，并从所述空间出口离开所述容纳空间，以使所述机械手所承载的基板落在所述承载台上；所述机械手的顶面在所述机械手指离开所述容纳空间时低于所述承载台的顶面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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