[实用新型]一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台有效
| 申请号： | 201820801931.5 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208496343U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王皓亮;李延明 | 申请（专利权）人： | 天津迈特赛思科技有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/52 | 分类号： | B23Q1/52 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区工*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台，包括旋转工作台转动机构，所述旋转工作台转动机构由第一垂直旋转台、与第一垂直旋转台互相平行的第二垂直旋转台、设置在第一垂直旋转台与第二垂直旋转台之间的水平旋转台组成，所述第一垂直旋转台上设置有四爪自定心卡盘，所述第一垂直旋转台和四爪自定心卡盘通过法兰盘固定在一起，通过采用本实用新型提供一种三轴旋转工作台，基于X射线旋转定向法测量得到的单晶金属材料的晶体学取向角度参数，在该装置上对样品进行快速定位，再利用通用切割设备对样品进行切割，其可以简化单晶体定向切割的步骤，保证晶体学取向的控制精度，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直旋转 旋转工作台 定向切割 三轴 四爪自定心卡盘 单晶体材料 晶体学取向 转动机构 本实用新型 水平旋转台 金属材料 工作效率 互相平行 角度参数 快速定位 切割设备 单晶体 定向法 法兰盘 再利用 单晶 切割 测量 通用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台，其特征在于：包括旋转工作台转动机构，所述旋转工作台转动机构由第一垂直旋转台(1)、与第一垂直旋转台(1)互相平行的第二垂直旋转台(2)、设置在第一垂直旋转台(1)与第二垂直旋转台(2)之间的水平旋转台(3)组成，所述第一垂直旋转台(1)上设置有四爪自定心卡盘(4)，所述第一垂直旋转台(1)和四爪自定心卡盘(4)通过法兰盘(5)固定在一起。
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