[实用新型]长晶设备及其位置调整装置有效
申请号: | 201820806779.X | 申请日: | 2018-05-22 |
公开(公告)号: | CN208293114U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 庄宇轩;黄上豪;王兴邦;李依晴 | 申请(专利权)人: | 环球晶圆股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽;高翠花 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种长晶设备及其位置调整装置,所述长晶设备包括坩埚、设置于坩埚上方的炉盖、位于坩埚与炉盖间的热帷幕及位置调整装置,位置调整装置包括设置于炉盖顶缘的支架、穿设支架的中柱及多个勾爪,每个勾爪包括枢接部及分别自枢接部两端延伸的滑动部与延伸部,每个枢接部枢接于中柱,每个滑动部位于中柱旁且选择性地穿设支架,每个勾爪的滑动部与延伸部相夹形成有夹角,当中柱位于悬吊位置时,多个延伸部能维持彼此的相对位置且支撑热帷幕,当中柱位于释放位置时,多个滑动部分离于支架,多个延伸部能受重力牵引而彼此靠近。 | ||
搜索关键词: | 位置调整装置 延伸部 支架 枢接部 勾爪 坩埚 滑动部 热帷幕 穿设 炉盖 本实用新型 滑动部位 两端延伸 释放位置 悬吊位置 重力牵引 炉盖顶 滑动 枢接 相夹 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种长晶设备,其特征在于,包括:一坩埚;一炉盖,设置于所述坩埚的上方并且形成有一贯孔;一热帷幕,位于所述坩埚与所述炉盖之间,所述热帷幕形成有一穿孔;以及一位置调整装置,包括有:一支架,可分离地设置于所述炉盖的顶缘;一中柱,位于所述位置调整装置的中央且穿设于所述支架,并且所述中柱能相对于所述支架于一悬吊位置与一释放位置之间移动;多个勾爪,各包括有一枢接部、自所述枢接部一端延伸的一滑动部及自所述枢接部另一端延伸的一延伸部,每个所述枢接部枢接于所述中柱,并且每个所述滑动部位于所述中柱旁且选择性地穿设于所述支架;在每个所述勾爪中,邻近所述枢接部的所述滑动部与所述延伸部的部位相夹形成介于140度至180度之间的一夹角;当所述中柱位于所述悬吊位置时,所述位置调整装置穿设于所述贯孔,所述支架设置于所述炉盖的顶缘,多个所述滑动部穿设于所述支架,并且多个所述延伸部能够维持彼此的相对位置且穿过所述热帷幕的所述穿孔而支撑所述热帷幕的底缘,以维持所述热帷幕与所述坩埚的相对位置;当所述中柱位于所述释放位置时,多个所述滑动部分离于所述支架,并且多个所述延伸部能够受重力牵引而朝向彼此靠近的方向移动,以使所述位置调整装置能够与所述热帷幕及所述炉盖分离。
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