[实用新型]基片承载轴连续摆动式转架有效
| 申请号： | 201820809290.8 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208218953U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 龚健;王绍超 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 基片承载轴连续摆动式转架，公转盘安装轴连接驱动电机，公转盘上对称安装传动盘转动座，公转盘上位于每个传动盘转动座外侧设有自转轴转动座，传动盘转动座上部安装传动盘，传动盘转动座下部安装小齿轮，传动盘边缘处上设有传动盘驱动销；自转轴转动座上部安装基片承载盘，基片承载盘尾端处设有基片承载盘驱动销，摆动杆两侧的长条形孔与传动盘驱动销和基片承载盘驱动销配合安装，摆动杆通过摆动杆座轴活动安装于公转盘上；下板座上部与公转盘之间安装压力球轴承，下板座上位于公转盘安装轴外侧固定安装大齿轮。本实用新型转架的公转盘转动时自转轴会持续的两个方向摆动，在不降低轴瓦成膜速率的情况下进一步提高了轴瓦内表面的膜层均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 传动盘 公转盘 转动座 驱动销 基片承载盘 自转轴 转架 连续摆动 安装轴 摆动杆 承载轴 下板 本实用新型 膜层均匀度 压力球轴承 轴瓦内表面 安装基片 摆动杆座 长条形孔 对称安装 配合安装 驱动电机 边缘处 承载盘 大齿轮 尾端处 小齿轮 轴活动 摆动 成膜 轴瓦 转动 | ||
【主权项】：
1.基片承载轴连续摆动式转架，其特征在于：公转盘（11）安装轴活动贯穿安装于下板座（15）上，公转盘（11）安装轴连接驱动电机（12），公转盘（11）上对称安装传动盘转动座（8），公转盘（11）上位于每个传动盘转动座（8）外侧设有自转轴转动座（2），传动盘转动座（8）上部安装传动盘（7），传动盘转动座（8）下部安装小齿轮（9），传动盘（7）边缘处上设有传动盘驱动销（6）；自转轴转动座（2）上部安装基片承载盘（1），基片承载盘（1）尾端处设有基片承载盘驱动销（3），摆动杆（4）两侧的长条形孔与传动盘驱动销（6）和基片承载盘驱动销（3）配合安装，摆动杆（4）通过摆动杆座轴（5）活动安装于公转盘（11）上；下板座（15）上部与公转盘（11）之间安装压力球轴承（14），下板座（15）上位于公转盘（11）安装轴外侧固定安装与小齿轮（9）啮合的大齿轮（10）。
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