[实用新型]一种纳米硅激光气相合成系统有效
| 申请号： | 201820811085.5 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208554140U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李学耕;刘芳;戎俊梅 | 申请（专利权）人： | 普尼太阳能（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;C01B33/027 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 曹兆霞 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米硅激光气相合成系统，包括：反应腔；激光器，设置于反应腔的一端，产生的激光通过反应腔入口射入到反应腔内；硅烷气瓶，所述硅烷气瓶内盛有硅烷，硅烷通过管道通入反应腔内；束缚氮气瓶，所述束缚氮气瓶内装有用于为硅烷提供束缚保护作用的氮气，该氮气通过管道通入反应腔内；混合气瓶，所述混合气瓶内盛有氮气和氢气，该氮气和氢气通过管道通入反应腔内；硅粉收集器，设置于反应腔的下端，用于收集反应腔内产生的纳米硅颗粒；真空抽取子系统，与反应腔连接，用于抽取反应腔内的气体，是反应腔内呈现真空状态。该系统能够制备得到粒子大小可控、无粘连、粒度分布均匀的纳米硅颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 氮气 硅烷 纳米硅颗粒 合成系统 混合气瓶 氢气 氮气瓶 硅烷气 激光气 纳米硅 束缚 本实用新型 反应腔入口 粒度分布 真空抽取 真空状态 激光器 收集器 粘连 硅粉 可控 射入 下端 粒子 制备 抽取 激光 | ||
【主权项】：
1.一种纳米硅激光气相合成系统，其特征在于，包括：反应腔；激光器，设置于反应腔的一端，产生的激光通过反应腔入口射入到反应腔内；硅烷气瓶，所述硅烷气瓶内盛有硅烷，硅烷通过管道通入反应腔内；束缚氮气瓶，所述束缚氮气瓶内装有用于为硅烷提供束缚保护作用的氮气，该氮气通过管道通入反应腔内；混合气瓶，所述混合气瓶内盛有氮气和氢气，该氮气和氢气通过管道通入反应腔内；硅粉收集器，设置于反应腔的下端，用于收集反应腔内产生的纳米硅颗粒；真空抽取子系统，与反应腔连接，用于抽取反应腔内的气体，使反应腔内呈现真空状态。
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