[实用新型]一种半导体测试设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体测试设备，所述检测仓内壁上端中间部位设置有夹具，夹具下端连接探针卡，探针卡下端连接探针，所述夹具左侧设置有传感器组，所述夹具右侧设置监控装置,所述检测仓内壁底部设置有液压杆，液压杆上端连接出仓装置，出仓装置上端连接支撑台，支撑台左右两端滑动连接滑轨，所述检测仓外壁设置有操控台，当工作人员完成测试时，首先滑板通过检测仓表面通孔伸出设备内部，所述限位装置防止滑板偏离滑槽，所述支撑板a配合电机上下运动，所述支撑柱给限位孔内晶圆的限位柱施加压力，工作人员轻松取出晶圆，本检测设备结构合理，操作简单，晶圆的取放方便，十分适合用作半导体测试。

主权项

1.一种半导体测试设备，包括检测仓(1)、传感器组(2)和夹具(3)，其特征在于，所述检测仓(1)内壁上端中间部位设置有夹具(3)，夹具(3)下端连接探针卡(4)，探针卡(4)下端连接探针(5)，所述夹具(3)左侧设置有传感器组(2)，所述夹具(3)右侧设置监控装置(6),所述检测仓(1)内壁底部设置有液压杆(12)，液压杆(12)上端连接出仓装置(11)，出仓装置(11)上端连接支撑台(10)，支撑台(10)左右两端滑动连接滑轨(8)，所述检测仓(1)外壁设置有操控台；所述支撑台(10)包括支撑板(101)、限位孔(102)和支撑柱(103)，所述支撑板(101)正下方平行设置有支撑板a(109)，支撑板a(109)一端设置有限位块(107)，所述支撑板a(109)通过限位块(107)滑动连接滑轨(106)，滑轨(106)固定连接支撑板(101)，所述支撑板a(109)表面固定连接电机(108)，电机(108)轴部连接丝杆(105)，所述支撑板(101)与丝杆(105)位置、尺寸对应镶嵌有螺母装置(104)；所述出仓装置(11)包括电机a(201)、滑板(202)和滑板a(203)，所述滑板(202)左右两端均设置有电机a(201)，电机a(201)轴部连接滚轮(206)，所述滑板(202)通过滚轮(206)滑动连接滑板a(203)，所述滑板a(203)与滚轮(206)位置对应设置有滑槽(204)。