[实用新型]一种湿式制程承载盘循环加盖装置有效
| 申请号： | 201820821498.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208706585U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄荣龙;魏杰 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种湿式制程承载盘循环加盖装置，包括载台，所述载台包括立柱滑轨和连杆，立柱滑轨竖直矩形排列，且立柱滑轨为角钢形状，连杆连接相邻的两立柱滑轨，所述立柱滑轨中部一侧壁设有水平槽孔，槽孔内水平安装有压缩弹簧和伸缩块，压缩弹簧一端固定在槽孔内侧端部，另一端与伸缩块连接，伸缩块凸出滑轨壁，且伸缩块上支撑有层叠的盖板，伸缩块下方的立柱滑轨上设有滑车，滑车与立柱滑轨配合，载台的底部设有承载盘定位处。 | ||
| 搜索关键词： | 立柱滑轨 伸缩块 承载盘 加盖装置 湿式制程 压缩弹簧 滑车 槽孔 载台 角钢形状 连杆连接 内侧端部 竖直矩形 水平槽孔 凸出滑轨 定位处 上支撑 盖板 平安 配合 | ||
【主权项】：
1.一种湿式制程承载盘循环加盖装置，其特征是：包括载台(10)，所述载台(10)包括立柱滑轨(11)和连杆(12)，立柱滑轨(11)竖直矩形排列，且立柱滑轨(11)为角钢形状，连杆(12)连接相邻的两立柱滑轨(11)，所述立柱滑轨(11)中部一侧壁设有水平槽孔(13)，槽孔(13)内水平安装有压缩弹簧(14)和伸缩块(15)，压缩弹簧(14)一端固定在槽孔(13)内侧端部，另一端与伸缩块(15)连接，伸缩块(15)凸出滑轨壁，且伸缩块(15)上支撑有层叠的盖板，伸缩块(15)下方的立柱滑轨(11)上设有滑车(16)，滑车(16)与立柱滑轨(11)配合，载台(10)的底部设有承载盘定位处(17)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
