[实用新型]化学机械研磨后晶圆清洗设备

摘要

本实用新型提供了一种化学机械研磨后晶圆清洗设备，包括清洗装置、电机扭矩量测模块、清洗控制模块及故障检测分类模块。本实用新型所提供的化学机械研磨后晶圆清洗设备通过故障检测分类模块收集清洗刷电机扭矩数据，动态调节清洗刷与晶圆表面的距离，减少了晶圆表面缺陷数，增加了清洗刷使用寿命，提高了良品率。

主权项

1.一种化学机械研磨后晶圆清洗设备，其特征在于，所述化学机械研磨后晶圆清洗设备包括：清洗装置、电机扭矩量测模块、清洗控制模块及故障检测分类模块；其中，所述清洗装置包括：清洗刷及与所述清洗刷相连接用以驱动所述清洗刷的清洗刷电机；用于获取所述清洗刷电机的清洗刷电机扭矩的所述电机扭矩量测模块，与所述清洗装置相连接；用于将所述电机扭矩量测模块量测得到的所述清洗刷电机扭矩与最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的变化范围进行对比，并根据对比结果及清洗参数与所述清洗刷电机扭矩的变化关系调节更新所述清洗参数的所述故障检测分类模块，与所述电机扭矩量测模块相连接；及，用于依据所述故障检测分类模块更新后的清洗参数控制所述清洗装置对晶圆进行清洗的所述清洗控制模块，与所述故障检测分类模块及所述清洗装置相连接。