[实用新型]一种高效冷却的单晶炉坩埚杆有效
| 申请号： | 201820831761.5 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208440725U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种高效冷却的单晶炉坩埚杆。针对冷却水在夹层中流动时很容易发生分布不均匀，导致冷却水与坩埚杆接触不均匀，从而导致冷却不均匀，坩埚杆易发生局部高温而损坏的问题，本实用新型的技术方案是：包括坩埚杆，坩埚杆底部连接有水套，水套内部设置有进水室和出水室，水套外部设置有与进水室相通的进水管和与出水室相通的出水管；坩埚杆内部设置有与进水室相通的冷却管和与出水室相通的排水管，排水管位于坩埚杆中部，冷却管呈螺旋状环绕排水管设置，冷却管和排水管在坩埚杆的顶部联通。本实用新型适用于单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚杆 排水管 单晶炉 本实用新型 不均匀 出水室 进水室 冷却管 相通 水套 高效冷却 内部设置 冷却水 呈螺旋状 底部连接 局部高温 外部设置 出水管 进水管 夹层 联通 冷却 环绕 流动 | ||
【主权项】：
1.一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，包括坩埚杆(1)，坩埚杆(1)底部连接有水套(2)，其特征在于：水套(2)内部设置有进水室(22)和出水室(24)，水套(2)外部设置有与进水室(22)相通的进水管(3)和与出水室(24)相通的出水管(4)；坩埚杆(1)内部设置有与进水室(22)相通的冷却管(11)和与出水室(24)相通的排水管(12)，排水管(12)位于坩埚杆(1)中部，冷却管(11)呈螺旋状环绕排水管(12)设置，冷却管(11)和排水管(12)在坩埚杆(1)的顶部联通。
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